通过二步溶胶－凝胶法和ＳＣＦＤ过程制备了低密度ＳｉＯ２气凝胶，并应用ＳＥＭ，自动吸附仪，元素分析仪对气凝胶样品进行了结构和性质表征，且分析了ＴＥＯＳ浓度和Ｈ２Ｏ／ＴＥＯＳ值对气凝胶结构和性质的影响。结果表明，用此方法可以制备密度低至０．０２ｇ·ｃｍ－３的ＳｉＯ２气凝胶，具有较高比表面积和孔体积，充满两端开放的管状中孔（ｒｐ＝１３．６ｎｍ），且含有少量以物理和化学状态结合的碳与氢。
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