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摘要
采用射频溅射法制备了Ag8In1 4 Sb5 5 Te2 3 相变薄膜 ,对沉积态薄膜在 30 0℃时进行了热处理 ,测量了不同厚度薄膜的反射、吸收谱及光学常数。研究了薄膜的光学常数与薄膜厚度的关系 ,结果表明在一定的厚度范围其光学常数随膜层厚度的不同有较大的变化 ,尤其在短波长范围内更为明显 ,这对于短波长记录相变光盘有重要意义
- 出版日期2001
- 单位中国科学院上海光学精密机械研究所
采用射频溅射法制备了Ag8In1 4 Sb5 5 Te2 3 相变薄膜 ,对沉积态薄膜在 30 0℃时进行了热处理 ,测量了不同厚度薄膜的反射、吸收谱及光学常数。研究了薄膜的光学常数与薄膜厚度的关系 ,结果表明在一定的厚度范围其光学常数随膜层厚度的不同有较大的变化 ,尤其在短波长范围内更为明显 ,这对于短波长记录相变光盘有重要意义
