光滑表面面型测量方法

作者:闫佩正; 王永红; 孙方圆; 但西佐; 卢宇; 赵琪涵; 钟诗民
来源:2018-06-07, 中国, ZL201810580836.1.

摘要

本发明提供一种光滑表面面型测量方法,涉及表面测量技术领域。本发明解决了面型测量时,测量速度缓慢的技术问题,公开了S1、布置第一显示装置、第二显示装置、分束器、彩色相机,所述第一显示装置显示的散斑图案发出的光穿过分束器后照射在所述待测物的位置与所述第二显示装置显示的散斑图案发出的光经过分束器反射后照射在待测物的位置相同;S2、所述彩色相机拍摄所述待测物,获取所述待测物表面反射形成的图像,并分析所述图像,获取所述图像上的至少一个点;S3、分析图像上获取的每个点所对应的入射点的位置;S4、根据上述所有获取的入射点的位置,得到待测物表面面型。本发明可广泛用于表面测量领域。