飞秒激光微加工技术的评述与展望

作者：黄佑香; 张庆茂; 廖健宏; 周永恒

来源：金属热处理, 2008, (06): 8-13.

• 飞秒激光
• 应用
• 微加工
• 进展 femtosecond laser
• applications
• micro-processing
• development

综述了飞秒激光微加工技术国内外的研究现状,介绍了飞秒激光微加工在光学、微电子及生物医学等领域的应用,展望了飞秒激光微加工技术未来发展的趋势以及需要解决的关键技术。

• 出版日期2008
• 单位华南师范大学