大行程快速刀具伺服装置的设计

作者：徐兵; 张旭; 王俊; 刘强

来源：机械设计与制造, 2014, (08): 69-70+74.

DOI：10.19356/j.cnki.1001-3997.2014.08.021

• 光学自由曲面
• 快速刀具伺服
• 金刚石车削
• 柔性铰链 Optical Freeform Surfaces
• Fast Tool Servo
• Diamond Turning
• Flexure Hinge

基于快速刀具伺服(Fast Tool Servo,FTS)的金刚石车削加工技术是一种非常有发展前景的光学自由曲面加工手段。以柔性铰链和音圈电机为主要元素,研制一套大行程快速刀具伺服系统,该系统具有刚度大、工作稳定性好、阻尼可调等优点。详细介绍了柔性铰链的设计与分析、FTS系统性能测试和自由曲面切削试验,新型FTS系统的跟踪误差为0.12%,运动分辨率优于0.04μm,可以获得Ra30nm的光学自由曲面。测试和加工结果表明,新型的FTS系统可以用光学自由曲面高效、高精密金刚石车削加工。

• 出版日期2014
• 单位长春工业大学