纳米压印技术在LED器件制备中的应用

作者：庄喆; 刘斌; 张荣; 李烨操; 谢自力; 陈鹏; 赵红; 修向前; 郑有炓

来源：激光与光电子学进展, 2013, 50(02): 10-16.

• 光学制造
• 纳米压印技术
• 发光二极管
• 纳米结构
• 外量子效率
• 光子晶体

纳米压印技术(NIL)是一种机械制备纳米图形的微加工技术,它具有设备简单、易于操作、重复性好和成本低等优点。同时,它可以大面积制备高分辨率的纳米图形,使得大批量低成本地生产微纳器件成为可能。而固态照明工程目前是被全世界所关注的重要领域,制备出高效III-V化合物半导体发光二极管(LED)来代替现有的传统照明工具已经掀起了照明技术的革命,以实现高质量、绿色的照明。重点介绍了纳米压印技术的发展和工艺过程,并详细论述纳米压印技术在无机和有机LED制备中的应用,实现纳米结构LED以及表面光子晶体结构,从而提高LED的发光效率。

• 出版日期2013-11-12
• 单位南京大学