一种硅兼容双极性异质结紫外-近红外双波段光电探测器及其制备方法

作者：于永强; 徐艳; 宋龙梅; 夏宇; 许高斌; 马渊明; 陈兴

来源：2020-09-08, 中国, ZL202010931651.8.

本发明公开了一种硅兼容双极性异质结紫外-近红外双波段光电探测器及其制备方法,该探测器的结构为：在单晶硅衬底的上、下表面皆设置有SiO-2绝缘层；在各层SiO-2绝缘层的中心皆形成一盲孔；在上层盲孔内沉积有二维2H-MoSe-2材料,在下层盲孔内沉积有二维1T-WS-2材料,两种材料与单晶硅衬底形成2H-MoSe-2/Si/1T-WS-2双极性异质结；上层二维2H-MoSe-2材料和下层二维1T-WS-2材料外表面分别设置有顶电极和底电极。本发明所制备的探测器具有在紫外和近红外双波段的窄带响应,且响应速度快、易集成。

• 出版日期2020-9-8
• 单位合肥工业大学