飞秒激光直写微纳结构实现氧化锗玻璃内部光调制

摘要

飞秒激光直写自组装微纳结构在纳米流体器件、集成光子学和多维高密度光存储方面应用潜力巨大,成为近年来国际上激光微纳加工领域的一大研究热点。本文利用脉宽、重复频率可调的超快激光系统研究了氧化锗玻璃内部自组装纳米光栅形成的结构特点和关键影响因素。从实验上确定了氧化锗玻璃中纳米光栅的形成阈值,发现其与材料的带隙及激光的脉宽均有关。分析了飞秒激光重复频率对纳米光栅形成条件和结构性能的影响,发现氧化锗玻璃中纳米光栅的双折射强度具有反常偏振依赖性,分析了这种现象出现的原因。在优化加工参数的基础上,利用纳米光栅的双折射特性,在氧化锗玻璃内部实现了光学微元件,如偏振衍射光栅的设计制作和计算机生成全息图的存储,并...

关键词