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二维移相光栅光强分布的计算及在制备有序纳米硅阵列中的应用
严敏逸
王旦清
马忠元
姚尧
刘广元
李伟
黄信凡
陈坤基
徐骏
徐岭
Acta Physica Sinica, (05), pp 3205-3209, 2010-5-15
Summary
从菲涅耳衍射积分的一般形式出发,结合二维(2D)移相光栅掩模(PSGM)的具体参数,通过数值计算得到了作用于样品表面的光强分布.实验上,采用激光干涉晶化的方法,利用周期为400nm的2D-PSGM调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜上直接制备了2D的有序纳米硅(nc-Si)阵列.测试结果表明:2D的nc-Si阵列的周期和PSGM的相一致,晶化区域与理论模拟的结果符合得很好.
Keywords
纳米硅; 激光干涉晶化; 移相光栅; 菲涅耳衍射 nanocrystalline silicon; laser interference crystallization; phase shifting grating; fresnel diffraction
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