摘要

对一种新提出的由压电陶瓷驱动的并联微动平台进行了运动学分析。采用D-H法对该微动平台进行了位置分析,推导出了微动平台的反解表达式;在对单分支进行误差分析的基础上,建立了该并联微动平台的末端误差模型,并进行了误差分析。研究结果对3-RRRRR并联微动平台的设计和制造有参考价值。