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摘要
<正> 80 W 2537A远紫外光源是在电子束投影曝光机中做为光电子激发源。市售15—25W2537A光源,在光强和光辐照大面积均匀性等方面均不能满足要求。经对其放电参数、几何形状、灯材及填充气体数据分析与实验研究,设计并加工了80W大功率高亮度远紫外光
- 出版日期1985
- 单位中国科学院电工研究所
<正> 80 W 2537A远紫外光源是在电子束投影曝光机中做为光电子激发源。市售15—25W2537A光源,在光强和光辐照大面积均匀性等方面均不能满足要求。经对其放电参数、几何形状、灯材及填充气体数据分析与实验研究,设计并加工了80W大功率高亮度远紫外光
