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Understanding the Growth Mechanisms of Multilayered Systems in Atomic Layer Deposition Process
作者：Wiegand Christoph W; Faust Rene; Meinhardt Alexander; Blick Robert H; Zierold Robert; Nielsch Kornelius
来源：
Chemistry of Materials
, 2018, 30(6): 1971-1979.
DOI：10.1021/acs.chemmater.7b05128
出版日期
2018-3-27
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