等离子刻蚀a-Si:H/a-C:H超晶格

作者：王玉玲; 张青

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 1988, (03): 325-327.

• a-Si:H/a-C:H
• 超晶格
• 等离子刻蚀 a-Si:H/a-C:H
• Superlattice
• Plasma etching

本文介绍了 C_yF_(14)+ O_2等离子刻蚀 a=Si:H/a-C:H 超晶格的工艺原理及方法,简便可行.

• 出版日期1988
• 单位中国科学院半导体研究所