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Variation of silicon etching rate in the HF/HNO3/H2O system
作者：An, Jing
*
; Sun, Tietun; Liu, Zhigang; Wang, Jianqiang; Ku, Shiwei
来源：
Acta Energiae Solaris Sinica
, 2008, 29(3): 319-323.
Heat exchange
Heat generated
Mass discrepancy
出版日期
2008
单位
上海交通大学
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