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A real-time scheduling algorithm of wet-etching system with residency constraints in semiconductor wafer fabrications
作者:Li, Xin; Zhou, Bing Hai
*
; Lu, Zhi Qiang
来源:
Journal of Shanghai Jiaotong University
, 2009, 43(11): 1742-1745+1750.
Etching systems
No intermediate storages
Real
time scheduling
Real time algorithms
Real-time scheduling algorithms
Residence constraints
Semi-conductor wafer
Semiconductor wafer fabrication
出版日期
2009
单位
上海交通大学
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