MEMS加速度计温漂预测补偿模型

作者：徐哲; 刘云峰; 董景新

来源：中国惯性技术学报, 2012, (05): 601-604+610.

DOI：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2012.05.016

• 微机械加速度计
• 温漂
• 滞环
• 曲面拟合
• 支持向量机
• 相关向量机 MEMS accelerometer
• thermal drift
• hysteresis
• surface fitting
• support vector machine
• relevance vector machine

温度漂移是影响MEMS加速度计实用效能的关键问题,为提高加速度计的精度和使用范围,需对温漂进行建模和补偿。首先通过温度循环试验对MEMS加速度计温漂特性进行了分析,然后分别采用曲面拟合法、SVM模型和RVM模型建立了温漂预测补偿模型,最后应用环境温度试验数据对模型进行检验和验证。结果表明:三种方法均能够有效的预测加速度计温漂,补偿后的温漂滞环开口由60 mg分别下降到5 mg、10 mg、15 mg。曲面拟合法简单、精度高,但对系统重复性要求高,且对噪声比较敏感;SVM模型法计算能力强,但计算量较大,模型参数较多;RVM模型法模型参数较少,计算量小,但训练时间较长,且预测精度不如其他两种方法高...

• 出版日期2012
• 单位中国人民解放军总参谋部陆航研究所; 清华大学