微电子技术作为一种新兴的技术,是当今世界电子信息产业的核心之一。随着微电子技术的迅猛发展,对我国微电子计量技术发展提出了更高要求。欧盟自2009年起,开始了针对纳米、通信、先进制造等领域的计量研究计划(EMRP),以保证欧盟在政治、经济上的先进性。在信息时代高速发展的背景下,跟踪和研究欧洲计量研究计划中与微电子计量相关的研究,借鉴欧盟先进的微电子计量建设经验,对中国微电子计量技术跨越式发展有重要的研究意义。
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