第二十讲 真空离子镀膜

作者：张以忱

来源：真空, 2018, 55(04): 78-80.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2018.04.17

• 离子轰击
• 负电位
• 离子镀
• 真空离子镀膜
• 负偏压
• 柱状晶

<正>(接2018年第3期第72页)假设轰击离子将全部能量都转移给沉积膜层原子,由式(1)和式(2)可知每个沉积膜层原子的能量Ep为Ep=eUini/n=(Mr.ji/Rv)e·Ui×6.3×10-3eV(5)因此可得离子流密度ji为ji≈159(Rv·ρ·Ep/Mr·eUi)mA/cm-2(6)式中Mr为膜层原子的相对平均摩尔质量,g/mol;Rv为沉积原子在基体表面的成膜速率,

• 出版日期2018
• 单位东北大学