高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵

作者：王青; 曹玉莲; 何国荣; 韦欣; 渠红伟; 宋**; 马文全; 陈良惠

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2007, (11): 1803-1806.

• 垂直腔面发射激光器
• 列阵
• 阈值电流
• 发散角
• 大功率

报道了980nm高密度排列大功率垂直腔面发射激光器列阵的研制.列阵单元为蜂窝状密堆积排列,单元台面直径为70μm,氧化孔径为30μm,相邻单元间隔为100μm.制作了含7,19,37个单元的列阵,讨论了它们的阈值电流和远场特性.在室温连续工作条件下,3种列阵的最大输出功率分别为0.26,0.5和0.6W.其中含37个单元的列阵在6A脉冲电流(脉宽30μs,重复频率100Hz)激发下,输出功率达到1.4W.

• 出版日期2007
• 单位中国科学院半导体研究所