AFM电场诱导氧化加工技术制备微纳米结构

作者：胡克想; 王庆康; 胡晓东

来源：航空精密制造技术, 2012, (03): 1-4+13.

• 调制电场
• 静电场
• 接触模式
• 轻敲模式
• 阳极氧化
• 纳米光栅 modulating electric field
• electrostatic field
• contact mode
• tapping mode
• anodic oxidation
• nano-gratings

大气状态下利用接触模式原子力显微镜(AFM)动态电场和静态电场及轻敲模式AFM静态电场制备了一维纳米光栅,对纳米光栅结构的特征进行了比较并对电场诱导阳极氧化加工的机理作了相应的理论分析。

• 出版日期2012
• 单位上海交通大学; 天津大学