大型衍射光栅刻划机控制系统研究

作者：刘栋材; 申远; 钟俊; 齐向东; 于海利; 竺长安

来源：中国科学技术大学学报, 2011, (06): 560-564.

• 高精度光栅
• 机械结构
• 控制系统
• 定制负荷 high-precision grating
• mechanical structure
• controlling system
• Custom Load

介绍了大型高精度衍射光栅刻划机的机械结构及其控制系统设计,并针对具有复杂机械结构的控制系统研究了一种新的仿真方法.通过利用Pro/Mechanism模块中的Custom Load(定制负荷)插件实现控制算法,从而在虚拟样机上实现运动控制的仿真.采用这种方法,在光栅刻划机上进行了精定位控制仿真,并基于仿真结果进行控制方案优化,提高了控制系统的开发效率和控制方案的有效性.

• 出版日期2011
• 单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所