一种MEMS用硅单晶的缺陷检验方法

作者：高丹

来源：电子工业专用设备, 2021, 50(02): 43-45.

• 微机电系统
• 单晶缺陷
• 检验方法

为了查找影响MEMS(微机电系统)器件缺陷的关键因素,通过模拟键合硅片的加工工艺开展了实验,探索出一种MEMS用硅单晶的缺陷检验方法。结果表明这种检验方法可以提前判断硅单晶是否可用于MEMS体硅工艺,对工业化生产具有很好的指导借鉴作用。

• 出版日期2021
• 单位中国电子科技集团公司第四十六研究所