高压击穿在多晶硅生产中的应用

作者：朱德富

来源：云南化工, 2018, 45(05): 19-20.

• 还原炉
• 卤素灯
• 高压击穿
• 四氟套

以我公司12对棒1至4号还原炉为例,介绍技改前卤素灯加热启动击穿在实际生产中遇到的问题,并与技改后高压击穿进行对比。说明高压击穿在多晶硅生产中的优点以及在生产中存在的问题,并提出相应的解决办法。

• 出版日期2018
• 单位云南冶金云芯硅材股份有限公司