PERC太阳电池退火EL石英舟卡槽印的原因排查与改善措施研究

作者：刘贤金; 周塘华^*; 邹佳朴; 易辉; 谌业斌

来源：太阳能, 2023, (06): 68-76.

DOI：10.19911/j.1003-0417.tyn20221202.02

• PERC太阳电池
• 退火工序
• 电致发光
• 石英舟卡槽印
• 尾气倒灌
• 良品率

PERC太阳电池作为目前光伏市场上的主流太阳电池产品，其良品率的稳定及提升受到了太阳电池厂家的高度重视。针对在电致发光(EL)检测时发现PERC太阳电池存在退火EL石英舟卡槽印占比异常的情况，为排查产生原因，对退火工序中使用的石英舟的各个环节进行了分析，并提供了改善措施。分析结果显示：低压石英舟饱和工艺与低压退火工艺过程中的尾气倒灌污染是退火EL石英舟卡槽印太阳电池占比异常的主要原因；通过采用优化变频真空泵设置和加装单向阀的措施，改善了退火工序中尾气倒灌的问题，将生产线退火EL石英舟卡槽印太阳电池月平均占比由0.667%～1.260%降至0.205%，有效提升了PERC太阳电池的良品率。以期为光伏行业改善退火EL石英舟卡槽印问题提供新思路和新方向。

• 单位
  湖南红太阳新能源科技有限公司