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摘要
在热力学分析的基础上，计算了在Ｇａ（ＣＨ３）３—ＡｓＨ３—Ｈ２体系中在５００Ｋ—１２００Ｋ的温度范围内，可能的含砷及砷化物的形态和浓度．同时通过大量的模拟实验找出了去除尾气中砷的最好方法，还研制出用三级逆向喷淋法的治理设备，对尾气进行治理．治理后的尾气中砷的含量符合国家排放标准．
- 出版日期1997
- 单位中国科学院半导体研究所
在热力学分析的基础上，计算了在Ｇａ（ＣＨ３）３—ＡｓＨ３—Ｈ２体系中在５００Ｋ—１２００Ｋ的温度范围内，可能的含砷及砷化物的形态和浓度．同时通过大量的模拟实验找出了去除尾气中砷的最好方法，还研制出用三级逆向喷淋法的治理设备，对尾气进行治理．治理后的尾气中砷的含量符合国家排放标准．
