AZO薄膜制备工艺及其性能研究

作者：黄稳; 余洲; 张勇; 刘连; 黄涛; 闫勇; 赵勇

来源：材料导报, 2012, 26(01): 35-39.

DOI：10.3969/j.issn.1005-023X.2012.01.008

• AZO
• 结构特性
• 光电特性

综述了掺铝氧化锌(AZO)薄膜制备方法与光电特性,重点阐述了磁控溅射法制备工艺参数如衬底温度、溅射功率、气体压强、溅射时间、衬底和靶间距、负偏压等对AZO薄膜结构、光电性能的影响,并指出目前AZO薄膜的研究关键以及所面临的挑战,展望了未来的研究方向。

• 出版日期2012
• 单位西南交通大学; 材料科学与工程学院