Nb/AlOx-Al/Nb超导隧道结制备氧化工艺与特性研究

作者：卢亚鹏; 曹春海; 李梦月; 许钦印; 肖伟; 房玉荣; 许伟伟; 康琳; 陈健; 吴培亨

来源：低温与超导, 2012, (07): 35-38.

DOI：10.16711/j.1001-7100.2012.07.008

• 超导隧道结
• 等离子氧化
• 阳极氧化
• 制备工艺 Superconductivity tunnel junction
• Plasma oxidation
• Anodization
• Fabrication process

提出一种氧的等离子氧化的方法改善结区边缘绝缘性能,降低超导隧道结的漏电流。对Al膜进行等离子氧化能够有效的改善氧化膜的绝缘性能,AES分析表明:氧化绝缘层均匀,界面清晰;应用此方法成功制备出较好性能的Nb隧道结。

• 出版日期2012
• 单位南京大学