鉴于微装配技术已经成为MEMS器件封装的关键,电控位移台是微装配整个过程的最主要运动平台,针对电控位移台的自动化控制,以Visual C++6.0为控制系统开发平台,采用基于动态链接库和Visual C++的MFC应用程序框架编程方法,编写了人机交互界面和控制系统程序.通过对电控位移台重复定位精度和空回精度的测量,得知重复定位精度和空回精度均为2μm,验证了该控制系统具有良好的人机交互性、可靠性,且易操作,执行效率高,实时性好.
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