汽车用316L不锈钢表面磁控溅射TaN涂层组织及耐磨性能分析

作者：李红英^*

来源：材料保护, 2019, 52(11): 72-76.

DOI：10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2019.11.014

• TaN涂层
• 磁控溅射
• N2流量
• 组织
• 磨损性能

为了提高汽车用316L不锈钢表面磁控溅射TaN涂层的耐磨性能,研究分析了不同N2流量下TaN涂层的组织和性能。结果表明:通入的N2流量很小时,形成的TaN涂层表面相对粗糙,形成了"山脊状"的团聚颗粒; N2流量为5 m L/s时,形成的TaN涂层表面相对平坦,具有"菜花状"的小尺寸团聚晶簇。随着N2流量的上升,将使吸附原子的活性减小,由于(110)晶面属于bcc结构的密排面,对应的能量最低,这使得(110)晶面可以包含更多低能量原子。当N2流量升高后,涂层内N掺杂浓度更高,使得涂层的硬度与弹性模量都增大,涂层获得更优的耐磨性。通入N2后,所有TaN涂层比不通入N2得到的涂层的磨损率明显减小,磁控溅射过程掺杂N元素后涂层的耐磨性更佳。

• 出版日期2019
• 单位江西科技学院