导模法和温度梯度法生长r面蓝宝石(英文)

作者：杨新波; 李红军; 徐军; 程艳; 周国清

来源：硅酸盐学报, 2008, (05): 678-682.

• 温度梯度法
• 导模法
• 蓝宝石
• 位错密度 temperature gradient technique
• edge-defined film-fed crystal growth
• sapphire
• dislocation density

r面(0112)蓝宝石晶体可用作制备非极性GaN薄膜的衬底。采用温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)和导模法(edge-defined film-fed crystal growth,EFG)生长了质量良好的r面蓝宝石晶体。利用双晶衍射、光学显微镜、光谱仪观察和分析了晶体的结构和缺陷。结果表明:TGT法生长的r蓝宝石晶体的双晶摇摆曲线对称性好,半高宽值仅为18 rad.s,位错密度为4×103 cm-2,透过率达83%,晶体质量好。与TGT法相比,EFG法生长的r面蓝宝石晶体的结构完整性较差,位错密度为5×105 cm-2,透过率仅为75%。但是E...

• 出版日期2008
• 单位中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院大学