农机刀具表面ZrN薄膜结合力影响因素分析

作者:吴奕然; 王会强; 李颖; 徐轟钊; 赵晨羽; 张成杰
来源:热加工工艺, 2018, 47(06): 192-194.
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2018.06.046

摘要

从主轰击、基体温度与辉光放电清洗时间三方面对农机刀具表面磁控溅射硬质涂层Zr N薄膜结合力进行分析。结果表明,磁控溅射工艺中基体温度对薄膜与介质漆的结合力影响不大。工艺中主轰击直接导致薄膜的脱落。工艺中辉光放电清洗可提高膜层的结合力,其是改善薄膜与基体结合的主要工艺因素。

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