高密度等离子体源的新发展

作者：黄光周; 张书生; 于继荣; 梁迪众; 杨英杰

来源：真空与低温, 1998, (01): 54-58.

• 电感耦合
• 等离子体
• 电子特性 Inductively coupled
• Plasma
• Electronic properties.

介绍了几种高密度等离子体源，重点叙述了新近出现的电感耦合等离子体源ＩＣＰＳ。说明了ＩＣＰＳ的基本原理、结构特点、电磁场分布的数学模型等。还简单介绍了其应用前景和目前存在的问题。

• 出版日期1998
• 单位华南理工大学