一种选择性检测分子的硅基反射干涉传感器及其制备方法

来源：传感器世界, 2021, 27(10): 44.

<正>申请号:202110491003.X【公开号】CN113049542A【公开日】2021.06.29【分类号】G01N21/45【申请日】2021.05.06【申请人】苏州大学【发明人】吴绍龙;王杰;李刘晶;秦琳玲;张程;李孝峰【摘要】本发明公开了一种基于反射干涉光谱技术的硅基光学传感器及制备方法,属光学传感技术领域。沿着复合光入射方向依次包括有序硅纳米线阵列层、

• 出版日期2021