Au-Si共晶合金液态金属离子源

作者：张立宝; 葛璜; 马祥彬; 凌仲珪

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 1986, (06): 668-671.

• 液态金属离子源
• Au-Si
• 双电荷离子
• 离子流强
• 共晶合金

采用原子比为Si(31％),Au(69％)的金硅合金,研制成了Au-Si共晶合金液态金属寓子源.描述了该离子源的制作方法、I-V特性、不同源电流情况下各种离子流峰值的变化.讨论了质谱分析结果.长时间地测量了离子流各组分Si~+、Si~(++)、Si_2~+、Au~+、Au~(++)的百分比变化情况.源的寿命大于140小时.

• 出版日期1986
• 单位中国科学院半导体研究所