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分子束外延半导体纳米材料
作者:孔梅影
来源:
现代科学仪器
, 1998, Z1: 55-60+74.
分子束外延
半导体低维(纳米)材料
超晶格
量子阱
量子线
量子点 Molecular Beam Epitaxy
Low dementional (Nanometer) semiconductor materials
Superlattice Quantum well
Quantum wire
Quantum dot
摘要
本文简介了分子束外延半导体纳米材料的基本原理,分子束外延设备及用以制备的低维(纳米)材料的进展及其应用。
出版日期
1998
单位
中国科学院半导体研究所
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