叉指电极的应用比较广泛,尤其是用作各类传感器的电极。本文给出了一种叉指结构电极电容的计算方法,可以针对多介质结构的电场进行计算,提高了计算精度。在理论分析计算的基础上,针对不同参数的介质结构的叉指电极电容进行了比较,在进一步通过ANSYS仿真的结果与实验数据进行比较,结果较好地验证了此计算方法的正确性。
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