摘要

陶瓷-金属封接过程中容易产生残余应力,将影响到封接强度和产品的可靠性。应用理论公式和ANSYS有限元分析软件对典型结构的应力分布进行了计算,同时应用X射线衍射法对该结构的应力进行了测试。结果表明计算与测试结果一致,ANSYS完全可以应用于陶瓷/金属封接的应力计算,同时X射线衍射法是一种测试陶瓷金属封接应力的可行方法。

  • 出版日期2007
  • 单位中国工程物理研究院电子工程研究所