薄膜镀层的XRD分析

作者：黄清明俞建长吴万国

来源：福州大学学报(自然科学版), 2004, (06): 773-775.

• X射线衍射
• 薄膜
• 分析 X-ray diffraction
• thin film
• analyse

利用X射线多晶衍射和计算机模拟的方法对薄膜镀层的物相成分、晶粒度大小、膜厚度、粗糙度、膜密度、吸收系数、折射因子进行测试分析,分析结果表明采用此方法对薄膜进行分析准确度高,速度快.

• 出版日期2004
• 单位福州大学