在综述现有的测量薄膜(涂层)材料本征硬度方法及模型的基础上,采用超显微硬度仪对不同基体经不同工艺条件沉积的类金刚石碳膜的复合硬度进行了测量,并借助有限元模型得到的经验公式对测量数据进行拟合处理,得出了各种类金刚石碳膜的本征硬度。硬质合金基体上类金刚石碳膜本征硬度为20GPa,硅基体上经不同工艺条件沉积的类金刚石碳膜本征硬度在20～30GPa范围。在对膜/基复合体系进行Meyer定律修正的基础上,首次提出了一种简易获得类金刚石碳膜本征硬度的方法。
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