铜铟镓硒薄膜的四元叠层法制备与表征

作者：范平; 池京容; 梁广兴; 郑壮豪; 张东平; 蔡兴民; 李定梅; 陈天宝

来源：深圳大学学报(理工版), 2012, (02): 118-122.

• 太阳电池
• 薄膜
• 离子束
• 热蒸发
• 晶体结构
• 光学性能
• 电学性能 solar cells
• thin films
• ion beams
• thermal evaporation
• crystal structure
• optical properties
• electric properties

采用热蒸发沉积Ga、离子束溅射沉积Cu、In和Se,在BK7玻璃上形成Ga/Gu/In/Se四元叠层,在同一高真空环境下对四元叠层进行退火热处理,制备得到铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池吸收层材料CIGS薄膜.通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜、分光光度计及四探针,测量材料的结构、组分、形貌以及光电特性.结果表明,通过精确控制热蒸发蒸镀Ga膜料的时间,实现在CuInSe2(CIS)薄膜上掺杂Ga元素,制备的CIGS薄膜均呈黄铜矿结构,当Ga的原子数分数x(Ga)=3.96%～9.26%时,衍射峰较强,结晶度较高,其中x(Ga)=4.70%,N(Ga)/(N(Ga)+N(In))=0.16...

• 出版日期2012
• 单位深圳大学