ALD中射频阻抗匹配器的设计与研究

作者：孙小孟; 李勇滔; 夏洋; 李超波; 李英杰; 陈盛云; 赵章琰; 秦威

来源：现代电子技术, 2012, (03): 202-203+206.

DOI：10.16652/j.issn.1004-373x.2012.03.002

• 射频阻抗匹配器
• 阻抗匹配网络
• ALD
• ADS RF impedance matching device
• impedance matching network
• ALD
• ADS

阐述原子层沉积系统(ALD)中射频阻抗匹配器的设计方案。利用ADS软件对阻抗匹配网络进行仿真,通过分析ALD真空腔室内等离子体产生前后的负载阻抗变化,结合仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制方法。经实验验证,该阻抗匹配器和控制方法可实现阻抗匹配。

• 出版日期2012
• 单位中国科学院微电子研究所; 昆明理工大学