新型金黄色富硅氮化硅阳光控制膜的制备及性能

作者：贾绍辉; 张家震; 张淮凌; 杨田林

来源：硅酸盐学报, 2016, (04): 566-571.

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.2016.04.16

• 阳光控制膜
• 氮化硅
• 磁控溅射
• 玻璃基片 solar control film
• silicon nitride
• magnetron sputtering
• glass substrate

采用磁控溅射方法,以纯Si作为靶材,Ar和N_2为溅射气体在3 300 mm宽幅的玻璃基片上制备出大面积均匀的金黄色阳光控制膜。利用X射线衍射、X射线光电子能谱和椭偏仪对不同工艺参数下薄膜的结构、组成和光学参数进行了表征。结果表明:金黄色阳光控制膜的主要成分为富硅氮化硅相;溅射功率和溅射气体通过影响薄膜中硅/氮化硅含量比而改变薄膜的外观颜色。优化工艺条件下制备的金黄色阳光控制膜的色度指标为L*=62.4,a*=4.5,b*=31.6,遮阳系数可达0.59,具有良好的装饰和节能效果。

• 出版日期2016-3-18
• 单位山东大学