摘要

<正>1引言氮是人造金刚石晶体中最常见的杂质,它以可替代方式固溶于人造金刚石中,氮杂质作为人造金刚石的最主要结构缺陷,对晶体本身的光学、热学、电学和机械性能有着重要影响,进而影响其在工业发展和高科技领域中的潜在应用前景[1,2]。氧以微量金属氧化物存在或以可替代方式固溶于人造金刚石中。氧对人造金刚石性能的影响尚未有报道。所