电子束退火法制备ZnO薄膜

作者：李艳丽; 许壮; 李辉; 孔祥东; 韩立; 张雪娜

来源：材料导报, 2017, 31(02): 41-45.

DOI：10.11896/j.issn.1005-023X.2017.02.009

• 电子束
• 退火
• 溶胶-凝胶
• ZnO
• 薄膜

利用溶胶-凝胶法制备出ZnO的凝胶前驱膜,用电子束退火取代传统炉子退火,对前驱膜进行后处理,退火时固定电子束加速电压为10kV,退火时间为5min,调节聚焦束流和电子束束流,使退火温度在600900℃范围内变化。扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和压电力显微镜(PFM)的测试结果表明,运用电子束退火法可制备出晶粒尺寸小于30nm、沿(002)择优取向、具有压电效应的六方ZnO薄膜,且随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐变大,薄膜的结晶性和取向变好,压电效应越来越明显。

• 出版日期2017
• 单位中国科学院大学; 中国科学院电工研究所