飞秒脉冲激光沉积钕掺杂薄膜特性研究

作者：杨先衡; 冯国英; 易家玉; 王树同; 周寿桓

来源：光谱学与光谱分析, 2015, 35(09): 2483-2486.

• 脉冲激光沉积
• 结构形貌
• 光致发光谱

采用脉冲激光沉积(PLD)技术在Si(100)衬底上生长了Nd∶YAG薄膜以及Nd∶Glass薄膜,利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)、傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)、光学掺量振荡器(OPO)以及光栅光谱仪等测试装置分析了薄膜的表面和断面结构形貌、组成成分、光学吸收谱以及光致发光谱。结果表明:在室温衬底温度下生长的Nd∶YAG薄膜以及Nd∶Glass薄膜均呈无规则非定型结构,没有明显的取向性微晶生长;PLD生长的Nd∶YAG薄膜中存在0.15at.%化学计量比的Nd元素;Nd∶YAG块体靶材在750和808nm有两个明显的吸收峰,而薄膜没有明显的吸收峰;Nd∶YAG薄膜在808nm波长泵浦光下没有明显的光致发光谱峰,而Nd∶Glass薄膜在877和1 064nm波长处有明显的光致发光谱峰。说明在室温衬底温度下生长的Nd∶Glass薄膜中Nd元素以Nd3+光学活性离子形式掺杂进玻璃基质中,而Nd∶YAG薄膜中的Nd元素没有以Nd3+光学活性离子形式掺杂进YAG基质中。

• 出版日期2015
• 单位四川大学