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摘要
为了解决5G功率传感器灵敏度不高的问题,创新性地提出一种可面向5G应用的MEMS跷跷板结构功率传感器。S参数测试结果表明,在1 GHz—10 GHz的频段内传感器的回波损耗小于-12.5 dB,插入损耗小于1.5 dB。功率响应测试表明,内部电容的灵敏度接近69.2aF/mW@1GHz、71.5aF/mW@5GHz和66.3aF/mW@10GHz,外部电容的灵敏度约为35.2aF/mW@1GHz、33.0aF/mW@5GHz和27.6aF/mW@10GHz,表明该跷跷板结构设计提高了传感器的灵敏度。
- 出版日期2020
- 单位中国联合网络通信有限公司; 东南大学
