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摘要
液相外延生长中的外延层晶体表面会出现波纹,大大降低了晶体的成材率。本文通过实验测量了同一HgCdTe外延薄膜在不同层厚时的红外透射光谱,证明在外延生长后期的相变层中存在分层流,正是分层流中的内波固化造成了外延层晶体表面的波纹。数学模型和量级估计很好地支持了外延生长中的内波成因论,指出固液密度梯度决定的分层流本征频率N、上下液层相对密度比σ对波纹的产生有决定性影响。
- 出版日期2007
- 单位中国科学院上海技术物理研究所; 上海理工大学
液相外延生长中的外延层晶体表面会出现波纹,大大降低了晶体的成材率。本文通过实验测量了同一HgCdTe外延薄膜在不同层厚时的红外透射光谱,证明在外延生长后期的相变层中存在分层流,正是分层流中的内波固化造成了外延层晶体表面的波纹。数学模型和量级估计很好地支持了外延生长中的内波成因论,指出固液密度梯度决定的分层流本征频率N、上下液层相对密度比σ对波纹的产生有决定性影响。
