多孔径扫描波面恢复技术的精度评定及影响因素

作者：程维明; 林有略; 陈明仪

来源：光学学报, 1993, (08): 711-716.

• 多孔径扫描
• 波面恢复
• 大孔径面形检测 multi- aperture overlap scanning
• wavefront restroration
• large optics test

多孔径扫描波面恢复技术是一项新的高精度大孔径面形检测手段.本文从建立波面恢复精度的评价标准出发,结合实测结果进行讨论,并对影响精度的两个重要因素即拼接模式及拼接区大小进行分析.

• 出版日期1993
• 单位上海科技大学