薄膜锰铜计对100GPa动压的测量

作者：杨邦朝; 杜晓松

来源：传感器世界, 2001, (09): 7-10.

• 锰铜传感器
• 薄膜
• 超高压力测试

为拓展锰铜传感器的高压测试上限,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器。该传感器采用氧化铝封装,后置式结构,两步薄膜工艺制作。利用二级轻气炮进行了40-107GPa的冲击高压加载,试验波形呈现出-理想的平台,寿命为1μs0标定蓝线Px(GPa)=6.0371+29.819(△R/R0)+21.591(△R/R0)2-6.8267(△R/R0)2近似于一条直线,精度达±3％。

• 出版日期2001-9-15
• 单位电子科技大学