大型清洁超高真空获得初探

作者：张春元; 许忠旭

来源：航天器环境工程, 2002, (01): 59-62.

• 真空系统
• 低温泵
• 分子泵 vacuum system
• cryopump
• turbo molecular pump

文章介绍了3200m~3大型真空容器的清洁高真空系统的方案配置和使用情况。说明低温泵和涡轮分子泵的结合使用,可以获得清洁的超高真空环境。

• 出版日期2002
• 单位北京卫星环境工程研究所